※この電子書籍は紙版書籍のページデザインで制作した固定レイアウトです。センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書！【平成19年度　電気学会著作賞　受賞】　「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。　本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。1章　本書の構成と使い方2章　センサ・マイクロマシンの概要3章　微細構造製作プロセス技術4章　物理センサ5章　マイクロアクチュエータとマイクロマシン6章　化学センサとマイクロ化学システム