図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み[第2版]
作品紹介: 半導体ビジネスに関わりたいとお考えのあなた。実際の半導体製造装置がどのようなものか、ご存知でしょうか。本書は、半導体製造装置について、実際の製造現場をしらない人にも理解しやすいようイラストや表を使いながら図解する入門書の第2版です。半導体製造装置の種類や機能、それぞれの装置が半導体ファブ(工場)でどのように結びついているのか、監査・測定・解析装置はどようなものかなど、半導体製造技術を幅広く俯瞰します。 ※ 電子書籍の送受信データの容量が大きい場合は、パケット通信料が高額になりますので、パケット定額制サービスのご利用をおすすめします。 |
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